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静电消除器在半导体行业的应用

目錄:行業新聞點擊率:發佈時間:2018-11-28

文章出處:責任編輯:

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  静电的危害无处不在,尤其对半导体行业厂家,本文介绍下静电对半导体行业的危害以及静电消除器解决办法。

  半导体器件生产车间,由于尘埃吸附在芯片上,集成电路(IC)尤其是超大规模集成电路(VLSI)的成品率会大大下降。尘埃吸附,最大的原因是由于静电。

  而IC受到ESD时,放电回路的电阻通常都很小,无法限制放电电流。例如将带静电的电缆插到电路接口上时,放电回路的电阻几乎为零,这将造成高达几十安培的瞬间放电尖峰电流流入相应的IC管脚。瞬间大电流会严重损伤IC,局部发热的热量甚至会融化硅片管芯。ESD对IC的损伤一般还包括内部金属连接被烧断、钝化层被破坏、晶体管单元被烧坏等。 静电给半导体材料行业带来了难以估计的损失。
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  静电解决方案:

  建议在生产流水线使用专门的静电消除器离子风机。它们利用高压电离出空气中的电荷与物体上的静电电荷相中和,从而达到消除静电的目的,具有快速、稳定的特点。

  离子风机的选择要求,离子平衡度,跟静电消散时间必须达标,根据市场调研,韩国DIT是专门针对半导体、电子行业研发的静电消除设备,在电子行业大量应用。

  客户可根据需要选择以下产品的静电消除器

  AMF90离子风机:超高离子平衡度:低于30V,离子平衡度可调整。

  AMF-AE 离子风机:超高离子平衡度:低于平均30V,大范围除静电:200mm-1500mm可调节。

  ASF-AD/PD单头离子风机:超高离子平衡度:低于10V,多级风速调节:5级风量可调(采用了120mm风扇,最大可达4.6m?/min)如果空间狭小可以选择:袖珍型离子风机:SF-40A袖珍型离子风机,离子平衡度小于±10V!离子平衡度调整:可用十字螺丝刀转动调节。

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